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Allgemein
- Berührungslose Messung von Oberflächenprofilen, vertikale und laterale Abmessungen 2D/3D
- Untersuchung rauer und glatter Oberflächen
- Lieferbar mit unterschiedlichen Sensoren: konfokal chromatisch, Triangulation, Weißlichtinterferometrie, konfokale Mikroskopie, Autofokus
Verfahrweg in XY-Richtung bis 300 mm, in Z-Richtung bis 50 mm
- Laterale Auflösung besser 1 µm, vertikale Auflösung max. 1 nm (abhängig vom Sensor)
- Bestimmung von Rauheitsparametern (2D/3D), Ebenheit, Stufenhöhe
- Mikro-Topografie von Wafern, Werkzeugen, Blech-, Papier-, Glas-, und Kunststoffoberflächen
- Dimensionelle Vermessung mikromechanischer Bauteile
- Makro-Sprache für kundenspezifische Applikationen
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