Opto-elektronisches Wafer-Messsystem

 

Die Messstation besteht aus einem speziell für diese Messaufgabe konzipierten luftgelagerten Linearschlitten mit integriertem luftgelagertem Drehtisch. Wafer bis 300 mm können damit vermessen werden. Beide Bewegungen stützen sich auf einem Granitblock ab und dadurch entstehen keine relativen Positionsfehler wie z.B. Ebenheitsabweichungen.

Die Einheit ist aus einem massiven Granitblock gefertigt, die Verfahrschlitten aus Aluminium mit harteloxierter Oberfläche, 400x400x50 mm, mit integrierten Luftkanälen und Vakuumvorspannung. Eine Vakuumhalteplatte kann montiert werden. Die Seitenführungen sind aus Granit mit einer Linearität von 1 µm.

Die gesamte reinraumtaugliche Einheit sitzt auf passiven Schwingungsdämpfern und auf einem Metalluntergestell. Der Linearschlitten wird von einem Stahlband mit DC Motor über ein Getriebe bewegt um Schwingungen zu minimieren. Integriert in den Linearschlitten ist der luftgelagerte Rundtisch mit Durchmesser 300 mm. Er läuft koplanar auf der Granitgrundfläche mit Vakuumvorspannung und besitzt einen DC Motor mit Getriebe und Enkoder.

Die Profilmessung (warpage) erfolgt indem man eine Profillinie diagonal über den Wafer aufnimmt und dann den Wafer um einen vorgegebenen Winkel dreht und danach erneut eine Profillinie mißt. Alle Linien zusammen ergeben eine sternförmige Linienstruktur, die ausgewertet wird. Im Foto sieht man einen taktilen Taster aber natürlich lässt sich jeder geeignete opt. Sensor ebenso einsetzen.

So hat z.B. ein konfokaler oder Weißlicht Punktsensor eine kleine Messfleckgröße und hohe axiale Auflösung um auch Profildetails aufzulösen. Die Sensorsteuerkarte sitzt im PC, der Sensor selbst ist an einer Granitbrücke befestigt und wird in der Höhe manuell justiert.

Die Datenerfassungs- und Auswertesoftware läuft unter Windows XP/7. Nach Setzen aller erforderlichen Parameter (Messpunktdichte, Messlänge, etc.) wird die Messung mit Mausklick gestartet und die Ergebnisse kundenspezifisch angezeigt oder an einen anderen PC übertragen.

Nähere Angaben auf Anfrage.