Produktübersicht Weißlichtinterferometer

Merkmale aller Instrumente:

• Berührungslose und flächenhafte (schnelle) Erfassung der 3D Oberflächentopografie
• Auswertung der  Messdaten durch mathematisch und physikalisch fundierte Algorithmen

Mirau Weißlichtinterferometer WLI Lab:

Das flexible Instrument kann mit mehreren Objektiven ausgerüstet werden und hat ein maximales Messfeld von 1 mm². Durch seine Robustheit und Wartungsfreiheit ist es prädestiniert für den Einsatz in der Fertigung. Ein typisches Anwendungsbeispiel ist die quantitative Messung von Oberflächenstrukturen.


Weißlichtinterferometer WLI Linnik:

Dieser Interferometertyp bietet eine vertikale und laterale Auflösung bis an die Grenzen des physikalisch Möglichen.
Es eignet sich daher besonders zur Messung der Rauheitskennwerte und zur Charakterisierung von Oberflächenstrukturen an sehr glatten Oberflächen.


Michelson Weißlichtinterferometer WLI LA:

Dieses Interferometer eignet sich speziell für die schnelle Erfassung großer Flächen. Das Messfeld des WLI LA von > 1 cm² bietet den besten Kompromiss zwischen Messfeldgröße einerseits und Apertur andererseits, was auch das Vermessen von (mikroskopisch und makroskopisch) verkippten Oberflächen ermöglicht.


Michelson Weißlichtinterferometer WLI VLA:

Mit diesem Messgerät lassen sich ebene Flächen von bis zu 50 mm Ø schnell und ohne zu Stitchen vermessen. Das Instrument ist robust und einfach zu bedienen. Es ermöglicht die quantitative Erfassung von Ebenheit, flächigem Profil, Stufenhöhen und sonstigen Oberflächenmerkmalen (Welligkeit) auf einer großen Fläche.




Wir fertigen auch Weißlichtinterferometer für spezielle Messaufgaben:


Mit dem portablen Walzentopograf WLI R lässt sich die Oberflächentopografie auf Druck- und Blechwalzen sowie auf ebenen Flächen messen. Neben der Bestimmung von Rauheit und Mikrostruktur ist eine weitere typische Anwendung das quantitative Vermessen (Fläche, Volumen) von Drucknäpfchen.


Mit dem WLI Ring lassen sich wahlweise Innen- oder Aussenflächen von zylindrischen Objekten messen. Der Meßlichtstrahl wird von einem Kegel- oder Hohlspiegel auf die Objektwand reflektiert. Der Spiegel, das Objekt oder das Instrument wird zur Erfassung größerer Flächen verschoben und die gemessenen Teilflächen zusammengefügt.


WLI Infra dient der berührungslosen Dickenmessung von Wafern, Si-Membranen, Gläsern, MEMS, geätzten Si-Strukturen oder dünnen, transparenten Schichten. Zusätzlich eignet es sich zur Vermessung lateraler Strukturelemente. Der robuste und kompakte Aufbau macht das Gerät praktisch verschleißfrei, weshalb es sich neben dem Laboreinsatz auch für die Produktion eignet.

 

WLI Lab	WLI Linnik	WLI LA