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Allgemein
- Berührungslose hochpräzise und schnelle Dickenmessung von MEMS, Silizium Membranen, transparenten dünnen Materialien
- Dickenauflösung im Nanometer-Bereich
- Einfache Bedienung, erlaubt manuell gesteuerte sowie voll automatisierte Messvorgänge
- Unempfindlich auf Temperaturschwankungen
- Exzellente Wiederholbarkeit
- Optional: zusätzliche Messung des Oberflächenprofils
- Sichtkontrolle der Oberfläche
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