Allgemein
- Messung der 3D Oberflächentopografie
- Ebenheits- und Profilmessung
- Hohe numerische Apertur
- Großes Messfeld
- Messfeldgröße: 14 x 10 mm
- Laterale Auflösung: 30 µm
- Vertikale Auflösung: < 1 nm
Dieses Michelson-Interferometer hat eine besonders große Apertur bezogen auf die Meßfeldgröße.
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