Allgemein
- Messung der 3D Oberflächentopografie
- Vermessung von Strukturen bis in den Sub-Mikrometer Bereich
- Messung auf rauen und glatten Oberflächen
- Maximal mögliche optische Vergrößerung
- Bestmögliche laterale Auflösung
- Laterale Auflösung: > 0,2 µm
- Vertikale Auflösung: < 1 nm
Gegenüber einem Mirau-Interferometer, welches nur ein Mirau-Objektiv aufweist, besitzt das Linnik Instrument zwei Objektive. Während man bei einem Mirau-Instrument von den kommerziell verfügbaren Interferenzobjektiven abhängig ist, kann man bei der Linnik Version prinzipiell Objektive verschiedener Hersteller und Daten einsetzen. Insbesonders kann man so ein Interferometer mit einem x100 Objektiv mit hoher Apertur anbieten. Ebenso läßt sich aber auch ein Instrument mit besonders großem Meßfeld konzipieren, wobei auch hier die Apertur größer ist als z.B. bei einem Michelson.
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