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Allgemein
- Mikroskopische Untersuchung rauer und spiegelnder Oberflächen
- Ebenheits- und Profilmessung
- Sehr großer Messbereich und sehr großes Messfeld
- Drei wählbare Messfelder von 10 x 10 mm bis 40 x 40 mm
- Laterale Auflösung: 20 – 80 µm
- Vertikale Auflösung: < 1 nm
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